光刻机是一个庞大机器，运送过来的时候，却是拆散的，因为这样精密的部件，根本经不起长时间运输的颠簸，这也是那些安装服务人员更加重要的原因，他们调试不好，影响的甚至都不止芯片的良品率，还有光刻机的使用寿命。

　　不过这恰好方便了杨青对于光刻机的改造。

　　可以这么说，从镜头到光源，没有一处地方，不需要改造的，当初一条中试线，杨青足足花了几个月时间进行改造。

　　现在不用了，因为现在不仅机器人数量更多，而且小嫒已经有了完善的改造方案，不过这套方案里，已经没有杨青的位置了。

　　白一领着机器人，先是重新打磨光刻机的镜头，来自倭国理光的镜头，看上去已经没有任何瑕疵了，但是经过白一它们的打磨，还有全新镀层的喷涂，深紫外光的透光率，直接达到了百分之九十九点九九。

　　聚焦能力也是更加突出，不用多次曝光，也能直接光刻14纳米的芯片，要知道这一般是极紫外光刻机，换了新光源的EUV的绝技，却被一套改造后的镜头，给直接达到了。

　　这显然也已经到了193纳米深紫外光的极限，继续进步下去，就要换成波长更短的极紫外光了。

　　然后是工作台，里面的电机也经过了重新的调教，控制效果更好，如果不是担心人造肌肉的意义比较重大，杨青甚至打算给它们都换上人造肌肉，保证工作台位移的精度。

　　并且工作台还可以进行一定程度的倾斜，非如此，也难以完成真3D晶体管的光刻。

　　总之，大改以后，再也看不出原本尼康光刻机原本的样子，而且后面还加上了封装测试设备，使之一次性就能完成光刻，刻蚀，离子注入，银离子溅镀等一系列的工作，最终拿到的就是封装后的成品。

　　当然所有硬件的改动，都没有软件的改变大，可以说里面所有的驱动程序，还有操作系统，都被小嫒取代，变成了新的。

　　开始了光刻机的改造，杨青依然是保持着朝九晚五的状态，不过里面的机器人，却是二十四小时不停地工作，除非是没电了，才会暂停一会充电。

　　明明就只有四十个机器人，它们却做出了一千人的工作效率，而且工作起来，几乎没有任何的错漏，这恐怕也是人力在未来，会被机器人取代的原因吧。

　　然而就算是机器人们再忙，改装的工作也实在太多，差不多是重新早了一台全新的光刻机，每天从物流，发送过来的配件，也是源源不断，差不多堆满了无尘车间前面的小广场。

　　杨青只是最初关注了一下光刻机的改造工作，然后就继续投入到自己的傀儡炼制中来。

　　期间，威华这样的盟友，并不是不想派遣工程师，一起投入到光刻机的改造中来，但是都被杨青言辞拒绝。

　　

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